高精度電容位移傳感器,位移傳感器

高精度電容位移傳感器,位移傳感器的精密測量解決方案
A C C U M E A S U R ET M 電容探頭
用于 ACCUMEASURETM 系列
可以選擇標準的探頭和定制的探頭
Dprobe.cdr03.10.2014Rev1.0
CT R（徑向帶連接頭類型）
探頭上有一個SMA 接頭，連接線和SMA 接頭相連，并且線纜
從探頭徑向方向伸出.
安裝徑向出線類型探
頭示意圖
SMA 接頭
側視圖
ILR（徑向出線類型）
低噪聲高柔韌性的硅樹脂線纜集成在ILR 類型探頭側邊，線纜
從徑向方向伸出高精度電容位移傳感器,位移傳感器
SMA 接頭 仰視圖
1 米長線纜
Max. ?= 9mm
CT A（軸向帶連接頭類型）
探頭上有一個SMA 接頭，連接線和SMA 接頭相連，并且線纜
從探頭軸向方向伸出
安裝軸向出線類型
探頭示意圖
SMA 接頭
側視圖
ILA（軸向出線類型） 低噪聲高柔韌性的硅樹脂線纜集成在ILA 類型探頭尾端，線纜
從軸向方向伸出.
SMA 接頭 仰視圖
1 米長線纜
PSR（方形徑向出線類型）
PSR 探頭很薄，低噪聲高柔韌性的硅樹脂線纜集成在ILR 類型
探頭側邊，線纜從徑向方向伸出
SMA 接頭
安裝方形徑向出線
類型探頭示意圖
1 米長線纜
Dprobe.cdr03.10.2014Rev1.0
μm 0 20 40 60 80 100 120 140
mils 0 1 2 3 4 5 6
被測物
測量范圍
產品型號
測量范圍 zui小范圍 10Hz RMS 時的分辨率 zui大的量程
擴大倍數1
5kHz RMS 時的分辨率 E D L
μm mils μm mils nm μi nm μi mm Inch mm Inch mm Inch
ASP‐25M‐CTR 25 1 1.27 0.05 0.039 0.002 10x 0.137 0.005 1.09 0.043 9.49 0.374 25.50 1.004
ASP‐25M‐ILR 25 1 1.27 0.05 0.039 0.002 9x 0.137 0.005 1.09 0.043 2.39 0.094 9.50 0.374
ASP‐25M‐CTA 25 1 1.27 0.05 0.039 0.002 10x 0.137 0.005 1.09 0.043 6.39 0.251 63.50 2.500
ASP‐25M‐ILA 25 1 1.27 0.05 0.039 0.002 9x 0.137 0.005 1.09 0.043 2.39 0.094 9.50 0.374
μm
mils
0 20 40 60 80 100 120 140
0 1 2 3 4 5 6
產品型號
測量范圍 zui小范圍 10Hz RMS 時的分辨率 zui大的量程
擴大倍數1
5kHz RMS 時的分辨率 E D L
μm mils μm mils nm μi nm μi mm Inch mm Inch mm Inch
ASP‐50M‐CTR 50 2 2.54 0.10 0.079 0.003 9x 0.275 0.011 1.55 0.061 9.49 0.374 25.50 1.004
ASP‐50M‐ILR 50 2 2.54 0.10 0.079 0.003 4x 0.275 0.011 1.55 0.061 2.89 0.114 9.50 0.374
ASP‐50M‐CTA 50 2 2.54 0.10 0.079 0.003 9x 0.275 0.011 1.55 0.061 6.39 0.251 63.50 2.500
ASP‐50M‐ILA 50 2 2.54 0.10 0.079 0.003 4x 0.275 0.011 1.55 0.061 2.89 0.114 9.50 0.374
μm
mils
0 20 40 60 80 100 120 140
0 1 2 3 4 5 6
產品型號
測量范圍 zui小范圍 10Hz RMS 時的分辨率 zui大的量程
擴大倍數1
5kHz RMS 時的分辨率 E D L
μm mils μm mils nm μi nm μi mm Inch mm Inch mm Inch
ASP‐125M‐CTR 125 5 6.35 0.25 0.196 0.008 10x 0.686 0.027 2.49 0.098 9.49 0.374 25.50 1.004
ASP‐125M‐ILR 125 5 6.35 0.25 0.196 0.008 2x 0.686 0.027 2.49 0.098 3.99 0.157 9.50 0.374
ASP‐125M‐CTA 125 5 6.35 0.25 0.196 0.008 10x 0.686 0.027 2.49 0.098 6.39 0.251 63.50 2.500
ASP‐125M‐ILA 125 5 6.35 0.25 0.196 0.008 2x 0.686 0.027 2.49 0.098 3.99 0.157 9.50 0.374
μm
mils
0 200 400 600 800 1000 1200 1400
0 10 20 30 40 50 60
產品型號
測量范圍 zui小范圍 10Hz RMS 時的分辨率 zui大的量程
擴大倍數1
5kHz RMS 時的分辨率 E D L
μm mils μm mils nm μi nm μi mm Inch mm Inch mm Inch
ASP‐250M‐CTR 250 10 12.70 0.50 0.393 0.015 9x 1.373 0.054 3.53 0.139 9.49 0.374 25.50 1.004
ASP‐250M‐ILR 250 10 12.70 0.50 0.393 0.015 2x 1.373 0.054 3.53 0.139 5.59 0.220 9.50 0.374
ASP‐250M‐CTA 250 10 12.70 0.50 0.393 0.015 3x 1.373 0.054 3.53 0.139 6.39 0.251 63.50 2.500
ASP‐250M‐ILA 250 10 12.70 0.50 0.393 0.015 2x 1.373 0.054 3.53 0.139 5.59 0.220 9.50 0.374
μm
mils
0 200 400 600 800 1000 1200 1400
0 10 20 30 40 50 60
產品型號
測量范圍 zui小范圍 10Hz RMS 時的分辨率 zui大的量程
擴大倍數1
5kHz RMS 時的分辨率 E D L
μm mils μm mils nm μi nm μi mm Inch mm Inch mm Inch
ASP‐500M‐CTR 500 20 25.40 1.00 0.785 0.031 3x 2.746 0.108 5.00 0.197 11.00 0.433 25.50 1.004
ASP‐500M‐ILR 500 20 25.40 1.00 0.785 0.031 2x 2.746 0.108 5.00 0.197 7.99 0.315 9.50 0.374
ASP‐500M‐CTA 500 20 25.40 1.00 0.785 0.031 4x 2.746 0.108 5.00 0.197 11.00 0.433 63.50 2.500
ASP‐500M‐ILA 500 20 25.40 1.00 0.785 0.031 2x 2.746 0.108 5.00 0.197 7.99 0.315 9.50 0.374
μm
mils
0 200 400 600 800 1000 1200 1400
0 10 20 30 40 50 60
產品型號
測量范圍 zui小范圍 10Hz RMS 時的分辨率 zui大的量程
擴大倍數1
5kHz RMS 時的分辨率 E D L
μm mils μm mils nm μi nm μi mm Inch mm Inch mm Inch
ASP‐1250M‐CTR 1250 50 63.50 2.50 1.963 0.077 2x 6.864 0.270 7.98 0.314 15.50 0.610 25.50 1.004
ASP‐1250M‐ILR 1250 50 63.50 2.50 1.963 0.077 2x 6.864 0.270 7.98 0.314 14.00 0.551 9.50 0.374
ASP‐1250M‐CTA 1250 50 63.50 2.50 1.963 0.077 2x 6.864 0.270 7.98 0.314 15.50 0.610 63.50 2.500
ASP‐1250M‐ILA 1250 50 63.50 2.50 1.963 0.077 2x 6.864 0.270 7.98 0.314 14.00 0.551 9.50 0.374
E
L D Dprobe.cdr03.10.2014Rev1.0
μm
mils
0
0
1000
50
2000 3000 4000 5000
200
6000
100 150 250
產品型號 ASP‐25M‐PSR ASP‐50M‐PSR ASP‐125M‐PSR ASP‐250M‐PSR ASP‐500M‐PSR ASP‐1250M‐PSR ASP‐2500M‐PSR ASP‐5000M‐
測量范圍 μm
mils
25
1
50
2
125
5
250
10
500
20
1250
50
2500
100
5000
200
zui小測量范圍 μm
mils
1.27
0.05
2.54
0.10
6.35
0.25
12.70
0.50
25.40
1.00
63.50
2.50
127.00
5.00
254.00
10.00
10Hz RMS 時的分辨率 nm
μi
0.039
0.002
0.079
0.003
0.196
0.008
0.393
0.015
0.785
0.031
1.963
0.077
3.926
0.155
7.852
0.309
zui大測量范圍1
9x 4x 2x 2x 2x 2x 2x 2x
5kHz RMS 時的分辨率 nm
μi
0.137
0.005
0.274
0.010
0.686
0.027
1.372
0.054
2.745
0.108
6.864
0.270
13.728
0.540
27.457
1.081
E mm
Inch
1.09
0.043
1.55
0.061
2.49
0.098
3.53
0.139
4.98
0.196
7.98
0.314
11.25
0.443
15.93
0.627
L mm
Inch
7.50
0.295
7.70
0.303
8.20
0.323
9.00
0.354
10.20
0.402
18.00
0.709
29.75
1.171
42.50
1.673
W mm
Inch
8.00
0.315
8.00
0.315
8.00
0.315
8.00
0.315
8.00
0.315
13.90
0.547
25.40
1.000
38.00
1.496
T mm
Inch
2.50
0.098
2.50
0.098
2.50
0.098
2.50
0.098
2.50
0.098
2.50
0.098
2.50
0.098
5.00
0.197
定位孔的尺寸 2X M2x0.4 2X M2x0.5 2X M2x0.6 2X M2x0.7 2X M2x0.8 2X (4.2 x 1.65, 2.4 通孔)
μm0 1000 2000 3000 4000 5000 6000
mils 0 50 100 150 200 250
被測物
測量范圍
產品型號
測量范圍 zui小范圍 10Hz RMS 時的分辨率 zui大的量程
擴大倍數1
5kHz RMS 時的分辨率 E D L
μm mils μm mils nm μi nm μi mm Inch mm Inch mm Inch
ASP‐2500M‐CTR 2500 100 127.00 5.00 3.926 0.155 2x 13.729 0.541 11.25 0.443 25.00 0.984 25.50 1.004
ASP‐2500M‐ILR 2500 100 127.00 5.00 3.926 0.155 2x 13.729 0.541 11.25 0.443 25.00 0.984 9.50 0.374
ASP‐2500M‐CTA 2500 100 127.00 5.00 3.926 0.155 2x 13.729 0.541 11.25 0.443 25.00 0.984 63.50 2.500
ASP‐2500M‐ILA 2500 100 127.00 5.00 3.926 0.155 2x 13.729 0.541 11.25 0.443 25.00 0.984 9.50 0.374
產品型號
測量范圍 zui小范圍 10Hz RMS 時的分辨率 zui大的量程
擴大倍數1
5kHz RMS 時的分辨率 E D L
μm mils μm mils nm μi nm μi mm Inch mm Inch mm Inch
ASP‐5000M‐CTR 5000 200 254.00 10.00 7.852 0.309 2x 27.457 1.081 15.93 0.627 38.00 1.496 25.50 1.004
ASP‐5000M‐ILR 5000 200 254.00 10.00 7.852 0.309 2x 27.457 1.081 15.93 0.627 38.00 1.496 9.50 0.374
ASP‐5000M‐CTA 5000 200 254.00 10.00 7.852 0.309 2x 27.457 1.081 15.93 0.627 38.00 1.496 101.60 4.000
ASP‐5000M‐ILA 5000 200 254.00 10.00 7.852 0.309 2x 27.457 1.081 15.93 0.627 38.00 1.496 9.50 0.374
E
L D
方形徑向出線類型探頭
Dprobe.cdr03.10.2014Rev1.0
DAQU.cdr02.28.2014Rev1.0
推薦使用探頭的測量范圍
0.5V 輸出
測量范圍的10%
4.5V 輸出
2.5V 輸出量程的 90%
量程的50%
探頭參數
線纜和探頭的使用溫度范圍: ‐130°C (‐202°F) 到 200°C (392°F).
可定制低溫或者高溫探頭，高溫探頭可達1200°C – 具體需要咨詢我們，配置這種特殊探頭需要一個BNC 到SMA 的接頭
連接頭的溫度范圍: ‐65°C (‐85°F) 到 85°C(185°F)
精度1: 在使用一個已知校準標準并且量程X1 的探頭和放大器的情況下，精度高于滿量程的±0.01%
探頭和電纜的互換性: 在沒有校準、探頭量程×1 的情況下，線性度可達± 0.2%
壓強等級標準: 1400kPa (200 psig)即大約14 個大氣壓
材料: 不銹鋼結構，內部沒有電子元器件
ILA, ILR 和 PSR 型探頭線纜長度2: 線纜集成在探頭上，需要根據探頭的形狀和出線的類型選擇探頭，線纜長度可以定制
1 線性度隨著量程的擴大而降低，探頭的分辨率約為0 .00000085×頻率的二分之一次方根×量程，噪聲和量程的擴大倍數成正比，量程×2 會導致分辨率下降一倍，增大平均化處理會降低噪聲，
但是同時也會降低帶寬（參考用戶手冊），增加電纜長度也會成比例的增大噪聲和降低分辨率。
2 加長非標準ILA/ILR/PSR 的電纜的長度，或者購買定制的可選的低噪聲延長線（型錄資料上有相關信息），延長線不需要轉接頭，因為它們已經設計成SMA 公接母的連接頭。
可選配件
產品描述 產品序列號
特殊的低噪聲連接線 - SMA 公頭 到 SMA 母頭
1 米長連接線 (FEP 材質，低噪聲) 8000‐6891‐210
2 米長連接線 (FEP 材質，低噪聲) 8000‐6891‐220
4 米長連接線 (FEP 材質，低噪聲) 8000‐6891‐240
KD-CH-4D 校準夾具 8000‐6952
KD-CH-4D 校準器
精密夾具，固定非接觸式位移傳感器和準確測量各
種被測物相對于傳感器的位置。它給用戶提供 了
一個獲得設備校準數據的很好的手段
探頭配合放大器
A C C U M E A S U R ET M
系列
真正的數字式電容位移傳感器
線性度高達量程的0.01%