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在真空鍍膜（PVD）磁控濺射工藝中，電源的輸出穩(wěn)定性、電弧抑制能力與控制精度，直接決定薄膜均勻性、靶材壽命及生產(chǎn)良率。德國ADL公司推出的GS05/800緊湊型直流磁控管電源，以0.5kW額定功率、8【詳情】
